“图纸绘制好之后,我们是要交给秦师兄之前所说的朱宏治来制作吗?”
秦浩摇摇头,解释道:“如今的变化如此大,交给他已经不能处理,我会拿着图纸去问闫师兄的。时间不早了,你们俩先去吃饭,我去找闫师兄说事,顺便一起吃饭。”
黎绵摸摸自己饥饿到肠鸣的肚子,微微一笑,“那就麻烦你了。”
黎绵和李筠就这样安心地去吃饭,而秦浩则是带着刚刚出炉的图纸,找到组长闫旭东。
“咚咚咚!”
“请进!”
秦浩推开门,看着还在里面继续忙碌的闫旭东,忍不住提醒一句:“闫组长,该到吃午饭的时间了。”
闻言,闫旭东转头往窗口看去,发现烈日正悬在头顶,的确是是大中午的时候。
随后,又立马回头,看向进屋的秦浩,问道:“你这是有什么事来找我?我记得你们三个不是一直在为新的激光器在忙吗?”
秦浩慢步走向前,从自己手里的图纸铺在闫旭东身前的桌上,介绍道:
“这就是我们三个这些天集思广益想出来的图纸,当然闫组长也明白,最重要的还是李筠,她的脑子不知道是什么东西做的,居然可以把我们的想法完美在纸上复制下来。
原本我们是想着时间紧任务重,就着现在成熟的激光器改动一点内部构造,但是随着讨论的越来越深入,我们发现那样的改造是完全不够的,不足以支撑后面的实验。
因此耗费的时间有点长,现在才把图纸交上来。同时,这个激光器的制作恐怕需要专门的人员负责,无法自己动手改造。”
闫旭东一边听着秦浩的介绍,一边仔细看着眼前精巧的图纸。
只需一眼,就能给明白秦浩话里的意思,虽然这张图的构造比起之前要复杂不少,可也正因为是这样,这台激光器发射的电子束会更加稳定,安装的换气装置也会更加安全,形成的准分子激光自然不会差到哪里去。
他双眼放光地看着眼前的图纸,久久没有回话。
沉默许久之后,抬头看了一眼对面的秦浩,夸赞道:“你们三个真的很厉害,耗费一点时间不算什么,只要能够做出让人惊艳的作品就行,而且相较于其他人的任务,你们的任务更重。
把图纸交上来之后,这边你们暂时就没有什么事情需要忙了,老师会尽快给你们安排新的任务,这台激光器也会尽快制作出来。”
“这样我们就放心了,那我就先离开了。”
“你先去吃饭,顺便休息一下。”
秦浩点点头,转身离开。
依旧端坐在椅子上的闫旭东,还在震惊地看着眼前的图纸。
虽然秦浩没有说明,但他很明显能够看出来,虽然这台激光器经过了大改造,但是它与其他部分连接的尺寸是不变的。
也就意味着当它制作出来之后,能够完美地与其他光刻机设备融为一体,届时操作将会更加简便和稳定。
能够在完成大改造的同时,也注意到这些细枝末节,很不简单。
这个小项目的顺利完成,也算是他们与计算科技研究所合作的一个进步,对方现在可是再不停地催促。
他感觉最近老师的白头发都多了不少,估计是烦的。
因为合作的原因,闫旭东嘴里的休息也不过是一个下午,第二天三人就被分配了新的任务。
李筠被分到研究半自动接近式光刻机的赵本民教授,因为姜文泽教授接触式这里人手充足,而新开发的接近式和投影式还处于正在开发的阶段,需要的人手不少,像是其他两人就被分到了投影式实验室。
说来,她第一次来到实验室看到的就是接触式和投影式的对抗现场,就是不知道后面结果如何。
人手是真的缺,她刚到实验室,就被赵本民教授的助手赵蔓分配到负责物镜的组别。
可以说,除了光源之外,光刻机的研究当中,镜头就是其最核心的部分,包括物镜和曝光台。
李筠被分到的是物镜观察,她需要一遍又一遍地观察从激光器发射而来的激光,通过矫正器、能量探测器、光束形状设置、遮光器到达掩膜台后,透过物镜在硅片上显影蚀刻制作晶圆。
物镜可以调整光束的形状,入瞳、透过平面、出瞳,将掩膜上的电路图案调整缩小,聚焦成像在晶圆上。
对于像差调节的要求特别高,不确定性很大,她自己都不敢说,什么时候才能调整出最合适的比例。
唯一值得庆幸的一点就是,接近式光刻机在掩膜板与光刻胶基底层留有一个狭窄的空隙,不会没进行一次尝试就要担心掩膜被污染,只得关闭设备重新再来一次。
负责带着李筠学习的赵蔓,看着她那熟练的动作,满意地点点头。
终于送来的不是一个愣头青,什么都不懂的人,要知道他们团队现在的任务非常重,时间紧迫,根本没有人想要把自己的时间浪费在无意义的人和事情上。
她看着李筠有模有样的动作说:“看你的样子也不是什么完全新手,你和于亮一起负责物镜的调试,不断找出最小比例的组合模式,有什么新变化记得全部记录下来。我那边还有其他的事情要忙,你们俩记得合作才能发挥最大的力量。”
说完,她也不等两人回答,转身离开。
于亮也是个只想要做事的性子,直接站到观察位,冷冷地出声道:
“那么我先来,李筠你负责记录现在的物镜调配情况,以及晶圆显影比例。”
“没问题。”
李筠让开自己的位置,让于亮先行,泛着这个物镜的调配特别耗费眼神和精力,等到于亮不行了,她迅速顶上就行,没必要争一时之快。
拿出他们放在一旁的记录册子,拿着笔记录下现在的情况。
和他们一样组合的人还有不少,每个人负责的物镜大小、薄厚、份数都是不一样的,只为找出最合适的搭配。
之前因为人手的问题,都是于亮自己一个人单独进行。
刚开始于亮还有些担心多了一个人会耽误自己的进度,可很快他就看出了李筠不是一般人,在他还没有提醒的时候,就已经手速飞快,把自己想要说的数据记录在册。
这种完美搭档一起做事就是顺心,短短几个小时,就已经达成了他之前一天的工作量。
于此同时到来的还有他双眼发昏的晕厥感,他不甘心地揉了揉自己晕眩的双眼,摇摇头,不甘心地往下走。
对着李筠说:“接下来你来观察,我记录。”
“可以。”
李筠将最后一笔记下,将册子和笔交到于亮手里,自己则是登上观察位,查看情况。
依据自己刚刚的观察,开始调整物镜内部的透镜位置。
于亮看到这一幕刚想提醒些什么,但很快就收回自己的手,他根据刚刚对李筠的观察,相信她不是无的放矢。
很快,当他看见新出来的数据之后,不由自主地瞪大双眼。
因为掩膜板与光刻胶基底层之间的空隙,他们能够避免掩膜的污染,制作时间大大缩短。
但同时也带来了另外一个隐患,那就是空隙的存在会使得原先的缩放比例大大变低,在晶圆上的成像会变得更加模糊。
于亮相信只要是自己的眼神没出问题的话,眼前的这个缩放比例已经达到了原先该有的水准。
不说提高,就这样的变化就足以让其他人侧目。
他有些惊讶地观察李筠的表情,在看到她还想要继续调整的时候,赶紧出声打断:
“等等!这样就很好了,你先别动。”
由于太着急,他的音量不算下,其他听到动静的人也纷纷向着两人的方向看过来。
李筠转身看到的就是这样的画面,她有些疑惑地看着于亮说:“怎么了?”
“你现在这个角度刚刚好,先别动,我这里还要再记录一点东西。”
众人一起停手的动静不算小,赵蔓也很快注意到两人这边的异样,看着其他人停下手里的事情,路过的时候小声提醒道:
“你们先别停,我去看看情况。”
众人这才歇了看热闹的心思,继续将眼神放到自己眼前,但也有些好事的,还是阻挡不了自己的好奇心,频频侧头观察李筠那边的动静。
赵蔓到达时,看到的就是一人站在观察位不动,一人飞速记录的场面。
她的目光随即转移到李筠身上,疑惑地问:“你们这边是出了什么问题吗?”
李筠摇摇头,眼神看向一旁的于亮。
于亮没有回答两人的问题,继续在记录册上写写画画,好一会儿才停下自己的手,因为长时间高强度的使用,还情不自禁地甩甩自己的手腕。
而后勾起嘴角,眼神当中几乎是藏不住的喜色,看着一旁的赵蔓激动地说:
“我们…我们已经复原出原本物镜应该到达的指数,赵师姐,你看。”
说着,就把自己手里的记录册递到赵蔓手里。
第一秒映入眼帘的就是于亮那手粗糙的画技,把物镜的角度画得乱七八糟,她根本看不明白,果断移开视线,看向上面记录的数据。
当她看到成像比例的时候,眼睛瞬间睁大,眼神惊喜地在李筠和于亮两人身上来回移动。
忍不住夸赞出声道:“你们俩非常了不起,这个发现我要赶紧告诉教授,你们俩这边暂时别动,等会儿教授也要过来看。”
说罢,带着手里得到记录册通通离开。
其他耳朵尖的,也明白是两人这边有了新发现,赶紧放下自己手里的东西围过来看,叽叽喳喳地指着物镜的方向讨论。
等到赵蔓带着赵本民教授来的时候,看到的就是这样一副闹哄哄的场面。
她赶紧加大的音量喊道:“都让让!都让让!教授来了。”
话音刚落,人群若鸟兽散,迅速给赵蔓和赵教授让出一条路,此时的李筠也早已经离开了观察位,与于亮站在一起。
赵本民看着眼前的机器,侧头问了赵蔓一句,眼神就不断地在李筠和于亮身上游离。
但第一时间还是站上观察位,查看内部透镜的具体方位,顺便还按下按钮,亲眼观察数据表现。
当看到上面的数据与记录册上的大体相似时,他这张一直皱着眉头的脸,难得的露出笑容,就像是连绵阴雨的春日突然闯入明媚的阳光,看着人都轻松不少。
随后,他的眼神放到李筠两人身上,追问道:
“你们俩是怎么想出来这种配合方式的?”
于亮可以说这件事和自己的关系不大,听到这话,立即看向一旁的李筠。
见状,李筠也是站出来解释,“之前看过于亮的调配方式,学生想到光束相当于球面波,因为透镜和其他因素的印象会造成偏离,导致像差。于是,依据之前形成的数据,观察其中变化,不断尝试、校正……”
李筠侃侃而谈的样子,仿佛散发着一股迷人的光芒,迅速将所有人的视线吸引过去。
赵本民也是一边听一边点头,原理大家都明白,但更重要的是懂得如何操作,要不然他们也不会耗费如此多的时日,也还是进展缓慢。
“你的解释很不错,那接下来就根据这个思路继续尝试,争取能够获得更好的比例。你们俩的这台机器的数据和图像都全部记下了吧?”
闻言,赵蔓立即将自己手里的记录册递过去,指着上面于亮绘制的图案。
要不是他眼神明亮,还真看不出这是什么东西。
或许于亮也是想到了自己的“鬼画符,”脸上露出尴尬的笑意。
赵本民也是头上一堆黑线,提点道:“你们还要细化一点,这可是要给其他人能够模仿的指导图。”
“是是是,教授,我们会再细化一遍的。”
“那就这样,你们赶紧画出来,交到赵蔓手里就行。”
看完这边的进展,赵教授也还有其他的事情要忙,急匆匆地离开了,连带着赵蔓一起。
留给两人的就只有刚刚的那本册子,李筠看到上面的图案,立即就明白了刚刚赵教授的话,提议道:
“不如还是去找点合适的纸来绘制?正好我前些日子就是在负责图纸工作。”
于亮也知道有点尴尬,听到李筠的话,忙不迭地表示:
“当然可以,你快去,我就在这里守着。”
听到同意,李筠快步走回自己的办公室,从里面取出之前绘制激光器图纸所用的纸张,重新回到实验室。
看着有点不好意思的于亮,提议道:“不如我来?”
“当然可以,这个角度还是你调试的,肯定对它更清楚,你来,我自己再亲自动手,体验一下。”
说着,于亮又重新回到观察位,观察此时精妙的角度和搭配。
李筠则是坐在一旁,一丝不苟地将图纸绘制出来,因为感觉到赵教授的要求很高,她不敢有一丝一毫的懈怠,几乎是熬了一个大夜,才将图纸绘制完成。
不说她自己,连在一旁配着她的于亮都已经熬不住昏昏入睡。
她慵懒地撑个懒腰,心满意足地看着自己的作品。
说来,今天她好像一直都在绘制图纸,感觉到自己的技能熟练不少,看向一旁入睡的于亮,她也不挑,就着自己绘制图纸的桌面安然入睡。
醒来还是因为实验室涌入上班的研究员才苏醒过来,大家看着两人的样子,就明白昨夜肯定是没有回去的,不由得佩服到五体投地。
有人关切地询问道:“昨日教授要求的图纸你们已经绘制完成了吗?”
闻言,李筠展示出自己手里的东西,眨巴眨巴眼睛,回道:“已经完成了。”
“哇——”
“我看看!”
李筠的身边迅速靠拢一群看热闹的人,一个个的目光都紧紧锁定在图纸上,开始思索自己的物镜应该如何调试成这样。
虽说他们的透镜薄厚、大小都不同,但是想着角度也玩意总要有点共同之处吧?
一个个热情的不行,像是要把图上的东西刻在自己的脑海里一样。
而被众人遗忘在人群外的于亮,此时也有点不知所措,他自己这个同伴都还没看过呢?
还不等他出声,人群中立即有比较大胆的研究员喊道:
“我看李筠你第一天就可以找出其中关窍,不知道可不可以帮忙看看我那里的物镜?我那都停滞好多天了。”
“发现都是很偶然的事情,要是你不介意我看之后也什么变化都没有的话,我可以尝试一下。”
这种带着祈求语气的帮忙,李筠真的没法说出拒绝的话。
杜子腾看到李筠同意,哪里还有什么不满意的,与自己的同伴对视一眼,兴奋地喊道:
“自然不会,你愿意帮忙都是一件幸事。”
说着,就要把李筠带去自己负责的区域。
李筠站起来之后才想起自己手里的图纸,目光瞬间透过人群往于亮看过去,出声喊道: